蒸汽也能使硅橡膠制品/硅膠產品的性能降低，其本質是主鏈的斷裂反應。
水解斷裂反應會因溫度的升高和離子性試劑的存在而變得明顯。耐填充劑的純度和催化劑殘渣量對其影響也很大。為了提高硅橡膠制品/硅膠產品的耐蒸汽性，可采用在硅膠原料配方中提高交聯密度和使填充劑疏水化等方法，但應盡量避免在2MPa以上的高壓水蒸氣下使用硅橡膠制品/硅膠產品。

其這種特性，硅氧烷-乙丙橡膠共混物的共硫化膠為最佳。

通常,在不加壓的情況下硅橡膠幾乎不受游離蒸汽濕氣的影響。當蒸汽處于比較低或中等壓力情況下也是如此。然而隨著蒸汽壓力的上升,對橡膠的機械性能的影響就逐漸變大。因此硅橡膠不推薦長期使用在蒸汽超過50psi的場合中。